کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1688857 | 1011197 | 2011 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Cold plasma chemistry and diagnostics
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper gives an overview of the main chemical processes which take place in cold plasmas generated in glow discharges, both in the gas phase and at the surfaces in contact with the plasma. Illustrative examples are provided where the relevance of different processes is evinced. Most common plasma characterization techniques and their recent improvements are also presented briefly.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 85, Issue 12, 5 June 2011, Pages 1120–1124
Journal: Vacuum - Volume 85, Issue 12, 5 June 2011, Pages 1120–1124
نویسندگان
Isabel Tanarro, Víctor J. Herrero, Esther Carrasco, Miguel Jiménez-Redondo,