کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1690267 | 1518984 | 2006 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
RF plasma sheath in an oblique magnetic field
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A sheath model in an oblique magnetic field is build, which has one-dimension coordinate space and three-dimension speed space. The effects of magnetic field on the structure of RF sheath and parameter characteristics are discussed. The numerical simulation result shows that magnetic field has great effects on the sheath structure, especially in the region near the edge of sheath. Also, the magnetic field affects ion energy in the direction vertically to the board and incidence departure angle.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 80, Issues 11–12, 7 September 2006, Pages 1206–1210
Journal: Vacuum - Volume 80, Issues 11–12, 7 September 2006, Pages 1206–1210
نویسندگان
Jin-Yuan Liu, Fei Zhao, Xiu Zou, Yu Zhang, Yue Liu, Xiao-Gang Wang,