کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1690694 1011271 2006 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
An algorithm for fast regulation of dynamically generated pressures in the range 1 Pa–7 kPa
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
An algorithm for fast regulation of dynamically generated pressures in the range 1 Pa–7 kPa
چکیده انگلیسی

An innovative regulation algorithm that allows to stabilise quickly the pressure in the range 1 Pa–7 kPa in a leaky chamber using a commercially available pressure regulator designed for atmospheric pressure range has been developed. The algorithm has been implemented on a nonrotating digital piston gauge allowing automatic calibration of pressure sensors. This algorithm could be used helpfully to generate starting pressures for dynamic expansion systems.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 81, Issue 4, 6 November 2006, Pages 562–565
نویسندگان
, ,