کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1690715 | 1011273 | 2012 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Engineering the tube size for an inner surface modification by plasma-based ion implantation
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Critical radius of tube characterizes the size of inner surface modification by PBII. ⺠Temporal sheath dynamics demonstrated the effective range of process parameters. ⺠Plasma density and steady pulse voltage were two main effect factors. ⺠Optimum process parameters bounded by ion implantation dose and processing time. ⺠Critical radius of tube was determined in grid-enhanced PBII technique.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 9, 14 March 2012, Pages 1278-1283
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 9, 14 March 2012, Pages 1278-1283
نویسندگان
Y. Li, B.C. Zheng, M.K. Lei,