کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1690715 1011273 2012 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Engineering the tube size for an inner surface modification by plasma-based ion implantation
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Engineering the tube size for an inner surface modification by plasma-based ion implantation
چکیده انگلیسی
► Critical radius of tube characterizes the size of inner surface modification by PBII. ► Temporal sheath dynamics demonstrated the effective range of process parameters. ► Plasma density and steady pulse voltage were two main effect factors. ► Optimum process parameters bounded by ion implantation dose and processing time. ► Critical radius of tube was determined in grid-enhanced PBII technique.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 9, 14 March 2012, Pages 1278-1283
نویسندگان
, , ,