کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1690794 | 1011277 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Self-consistent particle simulation of radio frequency SF6 discharges: Role of ion recombination
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The role of positive−negative ion recombination in simulating radio frequency (rf) SF6 discharges is investigated based on Nanbu and Denpoh's theory [J. Phys. Soc. Jpn. 1998; 67: 1288]. The model of ion recombination is combined with the Particle-in-Cell/Monte Carlo (PIC/MC) simulation. Results show that the ion recombination is a dominant factor in simulating a steady rf discharge of SF6. A criterion determining whether a periodic steady state is reached is proposed based on the ion recombination rate. It is found that the ion recombination rapidly increases as the gas pressure increases. From 25 to 50 m Torr, the loss of positive ions caused by ion recombination becomes comparable with that lost from collisions with electrodes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 80, Issue 9, 20 June 2006, Pages 1012–1015
Journal: Vacuum - Volume 80, Issue 9, 20 June 2006, Pages 1012–1015
نویسندگان
Lizhu Tong, Kenichi Nanbu,