کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1690818 1011278 2011 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of bias voltage and gas pressure on orientation and microstructure of iridium coating by double glow plasma
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Effects of bias voltage and gas pressure on orientation and microstructure of iridium coating by double glow plasma
چکیده انگلیسی
► Microstructure of Ir coating was affected by bias voltage and gas pressure. ► Bias voltages had a significant impact on the orientation of the coating. ► The increasing bias voltages caused high substrate temperature and deposition rate. ► Morphology and orientation of the coating were changed due to the coating thickness.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 4, 11 November 2011, Pages 429-437
نویسندگان
, , , , ,