کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1690898 1011283 2011 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design and study of an enhanced filament ion source
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Design and study of an enhanced filament ion source
چکیده انگلیسی
► We studied different filament ion sources. ► We proposed a method for simulation of the filament ion source performance. ► In addition we introduced a novel filament ion source with higher reliability. ► The simulation shows a considerable improvement in the performance. ► The developed approach allows a proper theoretical method to gain efficient magnetic field in the filament ion source; which can lower the cost and decrease design and fabrication time.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 1, 4 July 2011, Pages 44-47
نویسندگان
, , ,