کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1691007 1011290 2011 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Control of the energy of ion flow affecting electrically insulated surface in plasma processing reactor based on a beam plasma discharge
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Control of the energy of ion flow affecting electrically insulated surface in plasma processing reactor based on a beam plasma discharge
چکیده انگلیسی
► Model is proposed to analyze effect of AC signal on the isolated surface in contact with plasma. ► Pulse modulation of collector voltage for reactor with BPD has evident advantages. ► Experiment with probe-simulator allows estimation of IDF on isolated surface.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 85, Issue 6, 11 January 2011, Pages 711-717
نویسندگان
, , , ,