کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1691007 | 1011290 | 2011 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Control of the energy of ion flow affecting electrically insulated surface in plasma processing reactor based on a beam plasma discharge
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠Model is proposed to analyze effect of AC signal on the isolated surface in contact with plasma. ⺠Pulse modulation of collector voltage for reactor with BPD has evident advantages. ⺠Experiment with probe-simulator allows estimation of IDF on isolated surface.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 85, Issue 6, 11 January 2011, Pages 711-717
Journal: Vacuum - Volume 85, Issue 6, 11 January 2011, Pages 711-717
نویسندگان
E.G. Shustin, N.V. Isaev, I.L. Klykov, V.V. Peskov,