کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1691171 1011299 2010 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electroluminescence of as-sputtered silicon-rich SiOx films
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Electroluminescence of as-sputtered silicon-rich SiOx films
چکیده انگلیسی
Si-rich oxide films (SiOx, 0 < x < 2) were synthesized by reactive magnetron sputtering of a single Si target in a gas mixture of argon and oxygen. Intense visible electroluminescence was observed from the as-deposited SiOx film. The microstructure of the as-sputtered SiOx films was characterized by Raman and X-ray photoelectron spectroscopy techniques. Nanoscale amorphous Si clusters formed in the as-sputtered films. The electroluminescence was attributed to the oxygen-deficient defect luminescent centres and the formation of the amorphous Si nanoclusters.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 8, 24 March 2010, Pages 1043-1048
نویسندگان
, , , , , , ,