کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1691171 | 1011299 | 2010 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electroluminescence of as-sputtered silicon-rich SiOx films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Si-rich oxide films (SiOx, 0 < x < 2) were synthesized by reactive magnetron sputtering of a single Si target in a gas mixture of argon and oxygen. Intense visible electroluminescence was observed from the as-deposited SiOx film. The microstructure of the as-sputtered SiOx films was characterized by Raman and X-ray photoelectron spectroscopy techniques. Nanoscale amorphous Si clusters formed in the as-sputtered films. The electroluminescence was attributed to the oxygen-deficient defect luminescent centres and the formation of the amorphous Si nanoclusters.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 8, 24 March 2010, Pages 1043-1048
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 8, 24 March 2010, Pages 1043-1048
نویسندگان
Wa Li Zhang, Sam Zhang, Ming Yang, Zhen Liu, ZhanHong Cen, Tupei Chen, Dongping Liu,