کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1691252 | 1011304 | 2009 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Qualitative model of the magnetron discharge
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A simple model of the direct current magnetron discharge is introduced, relating the discharge current I, voltage V, sheath thickness d, plasma density, pressure P , magnetic field and material constants. The model is based on microscopic physics, balancing the generation and loss of ions. After deriving the balance equation m(d)c(P)VW=1/γ, with m(d) a multiplication factor, c(P) a confinement factor, W the effective ionization potential of the sputter gas and γ the ion induced secondary electron emission coefficient, a generic description of the discharge is made. The model is shown to reproduce many experimental results reported in literature, including a minimum voltage and steep I–V characteristics.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 4, 8 December 2009, Pages 488–493
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 4, 8 December 2009, Pages 488–493
نویسندگان
J. Musschoot, J. Haemers,