کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1691408 1011314 2008 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
New target materials for innovative applications on glass
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
New target materials for innovative applications on glass
چکیده انگلیسی

In the new emerging markets of flat panel display, photovoltaic and optical coating applications, the introduction of cylindrical rotating magnetron technology can accommodate the needs for faster, better and cheaper coating processes. Recent developments of hardware (compact end blocks, etc.) and target materials for rotatable magnetron technology offer a total solution to the innovative thin film applications.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 83, Issue 3, 15 October 2008, Pages 518–521
نویسندگان
, , , , ,