کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1691697 1011328 2008 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Sputtering yields
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Sputtering yields
چکیده انگلیسی

This paper gives a short summary of a new survey about experimental and calculated sputtering yields. A comparison of both data sets show a reasonable agreement in most cases.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 82, Issue 9, 2 May 2008, Pages 930–934
نویسندگان
,