کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1785086 | 1524134 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Microfocus-infrared synchrotron ellipsometer for mapping of ultra thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک اتمی و مولکولی و اپتیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Microfocus-infrared synchrotron ellipsometer for mapping of ultra thin films Microfocus-infrared synchrotron ellipsometer for mapping of ultra thin films](/preview/png/1785086.png)
چکیده انگلیسی
A purpose-build infrared spectroscopic ellipsometer is presented that enables to investigate sample areas of less than 1Â mm2 with monolayer sensitivity. This sensitivity is achieved for films on metallic as well as on semiconducting substrates. Measurement principle and performance of the instrument are discussed on selected examples and an outline of the currently performed upgrading of the set-up is given.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Infrared Physics & Technology - Volume 49, Issues 1â2, September 2006, Pages 74-77
Journal: Infrared Physics & Technology - Volume 49, Issues 1â2, September 2006, Pages 74-77
نویسندگان
M. Gensch, E.H. Korte, N. Esser, U. Schade, K. Hinrichs,