کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1825002 | 1027349 | 2011 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Parallel acquisition electrostatic electron energy analyzers for high throughput nano-analysis
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
ابزار دقیق
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Main design points and measurement results from an electron energy analyzer capable of simultaneous spectral acquisition over a wide energy range are presented. This analyzer has been first applied in the field of Auger electron spectroscopy, where we demonstrate the capability of fast data acquisition at high vacuum, that in turn can enable applications in semiconductor inspection and in the usual SEM environments. Steps for further improvement of the transmission and acquisition speed are highlighted.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment - Volume 645, Issue 1, 21 July 2011, Pages 227–233
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment - Volume 645, Issue 1, 21 July 2011, Pages 227–233
نویسندگان
D. Cubric, A. De Fanis, I. Konishi, S. Kumashiro,