کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
239666 | 466199 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low pressure drop, CMOS compatible liquid flow sensor with sub ml/h resolution
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
مهندسی شیمی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Low pressure drop, CMOS compatible liquid flow sensor with sub ml/h resolution Low pressure drop, CMOS compatible liquid flow sensor with sub ml/h resolution](/preview/png/239666.png)
چکیده انگلیسی
An innovative low cost packaging technique is used to confine a liquid flow to selected chip areas where integrated thermal flow meters have been fabricated by means of conventional simple post-processing steps. The packaging method is based on a plastic adapter, sealed to the chip using a thermal procedure. Direct contact between liquids and sensitive structures allowed to obtain an interesting combination of high resolution (0.2 ml/h in water) and low full scale pressure drop (5 mBar at 20 ml/h).
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Procedia Chemistry - Volume 1, Issue 1, September 2009, Pages 96-99
Journal: Procedia Chemistry - Volume 1, Issue 1, September 2009, Pages 96-99