کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
239675 | 466199 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Micromachined Flow Sensors Enabling Electrocalorimetric and TOF Transduction
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
مهندسی شیمی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Micromachined Flow Sensors Enabling Electrocalorimetric and TOF Transduction Micromachined Flow Sensors Enabling Electrocalorimetric and TOF Transduction](/preview/png/239675.png)
چکیده انگلیسی
A novel thermal flow sensor is presented featuring three spatially separated micromachined silicon-nitride membranes. A thin-film heater is embedded in the central one, while the others carry thermistors. This advanced sensor structure enables two different transduction modes. The electrocalorimetric mode exhibits high resolution and quick response at the expense of high power consumption. For slowly varying flows, the Time-of-Flight mode with low duty-cycles allows for power-saving operation but suffers from less sensitivity and slower response.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Procedia Chemistry - Volume 1, Issue 1, September 2009, Pages 132-135
Journal: Procedia Chemistry - Volume 1, Issue 1, September 2009, Pages 132-135