کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
239682 | 466199 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A novel SOI Pirani sensor with triple heat sinks
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
مهندسی شیمی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
In this paper, we will present a novel MEMS Pirani sensor with triple heat sinks. The sensors are made on SOI (Silicon On Insulator) wafers leading to a very simple process and good mechanical structures as compared to alternative surface micromachining processes. Moreover, the proposed Pirani has three heat sinks. The area of heat loss through the ambient gas is greatly enlarged as compared to Pirani sensors with one or dual heat sinks without increasing the dimension of the sensor. Consequently, the dynamic pressure range of the Pirani sensor will be enlarged.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Procedia Chemistry - Volume 1, Issue 1, September 2009, Pages 160-163
Journal: Procedia Chemistry - Volume 1, Issue 1, September 2009, Pages 160-163