کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
4632214 | 1340639 | 2010 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
3D-measurement using a scanning electron microscope
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
ریاضیات
ریاضیات کاربردی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this paper the improved photometric or the so called “Shape From Shading” method is presented. In comparison to known and established approaches the efficiency of the detector system was considered and the requirements of the cosine Lambert’s law for the angle distribution of the emitted electrons are suppressed. The method retrieves more accurate data of sub-micrometer substructures like diffractive optical elements (DOE) due to an increased lateral resolution and works more efficiently than widely used comparable techniques.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Mathematics and Computation - Volume 217, Issue 3, 1 October 2010, Pages 1193–1201
Journal: Applied Mathematics and Computation - Volume 217, Issue 3, 1 October 2010, Pages 1193–1201
نویسندگان
Eduard Reithmeier, Taras Vynnyk, Thanin Schultheis,