کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4971858 1450536 2016 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Study on non-contact current path formation using charged particle beams
ترجمه فارسی عنوان
مطالعه شکل گیری مسیر تماس بدون تماس با پرتوهای ذرات باردار
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
برای اندازه گیری ویژگی های الکتریکی ضروری است که جریان الکتریسیته ارائه شود یا ولتاژ را به مدار وصل کنید. این مطالعه به منظور ایجاد جریان جریان الکتریسیته پایدار در ناحیه میکروسکوپی تنها با استفاده از پرتوهای ذره باردار بدون نیاز به تماس با پروب های مکانیکی صورت گرفته است. و نشان داده شد که با استفاده از الکترون های ثانویه می توان جریان جریان پایدار و پایدار را در یک کنترل جریان جبری خود تنظیم کرد. ما همچنین روشن کردیم که مکانیزم تثبیت جریان در یک حالت خودسنجی وابسته به جریان محدود الکترونهای ثانویه است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
مطالعه شکل گیری مسیر تماس بدون تماس با پرتوهای ذرات باردار
چکیده انگلیسی
For measurement of electrical characteristics it is essential to supply an electrical current or apply a voltage to the circuit. This study have been carried in order to realize the creation of a stable electrical current flow in the microscopic region only by using the charged particle beams, without requiring contact of the mechanical probes. And it was revealed that stable and constant current flow can be achieved in a self-aligned current-controlling manner by utilizing the secondary electrons. We also have clarified that the mechanism of stabilizing current in a self-aligned manner is dependent on space charge limited current of secondary electrons.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronics Reliability - Volume 64, September 2016, Pages 326-329
نویسندگان
, , , , ,