کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5006382 | 1461476 | 2017 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Flowmeter for very low gas flows of inert gases
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
کنترل و سیستم های مهندسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Flowmeter for very low gas flows of inert gases Flowmeter for very low gas flows of inert gases](/preview/png/5006382.png)
چکیده انگلیسی
Gas flow was measured by using constant volume-variable pressure method. The gas flow is measured by pressure rise method using spinning rotor gauge (SRG). The design is relatively simple and has no precisely movable parts compared to the constant pressure-variable volume method. Due to outgassing effect we used a non-evaporable getter pump in order to diminish the influence of hydrogen outgassing on measured gas flow. Lower limit of pressure rise method is 5 Ã 10â10 mbar l/s and this is extended to 3 Ã 10â12 mbar l/s by using constant conductance method. With this flow meter we generated a calibration pressure of Argon in our calibration system in the range from 8 Ã 10â13 mbar up to 2 Ã 10â7 mbar.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Measurement - Volume 111, December 2017, Pages 384-388
Journal: Measurement - Volume 111, December 2017, Pages 384-388
نویسندگان
Sefer Avdiaj, Janez Å etina,