کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5006856 1461489 2017 19 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A robust method to determine the contact resistance using the van der Pauw set up
ترجمه فارسی عنوان
یک روش قوی برای تعیین مقاومت در برابر تماس با استفاده از ون پودوس ایجاد شده است
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
روش ون پراس برای محاسبه مقاومت ورق و تحرک نیمه هادی یک روش فراگیر است که هم در صنعت میکرو الکترونیک و هم در زمینه علم ماده چگال است. صدها مقالات در رابطه با تاثیر اندازه تماس، عدم انطباق و دیگر اثرات مرتبه دوم وجود دارد. در این مقاله ما یک روش ساده برای ارزیابی خطا تولید شده توسط مخاطبین با اندازه محدود ایجاد می کنیم، حضور مقاومت مقاومت در تماس را تشخیص می دهد، برای هر تماس آن را محاسبه می کنیم و رفتار خطی یا اصلاح کننده تماس را تعیین می کنیم. ما همچنین اشتباهات تولید شده توسط استفاده از ولت متر با مقاومت ورودی محدود در رابطه با مقاومت در برابر ورق نمونه را محاسبه خواهیم کرد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی کنترل و سیستم های مهندسی
پیش نمایش مقاله
یک روش قوی برای تعیین مقاومت در برابر تماس با استفاده از ون پودوس ایجاد شده است
چکیده انگلیسی
The van der Pauw method to calculate the sheet resistance and the mobility of a semiconductor is a pervasive technique both in the microelectronics industry and in the condensed matter science field. There are hundreds of papers dealing with the influence of the contact size, non-uniformities and other second order effects. In this paper we will develop a simple methodology to evaluate the error produced by finite size contacts, detect the presence of contact resistance, calculate it for each contact, and determine the linear or rectifying behavior of the contact. We will also calculate the errors produced by the use of voltmeters with finite input resistance in relation with the sample sheet resistance.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Measurement - Volume 98, February 2017, Pages 151-158
نویسندگان
, , , , , , , , ,