کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5023693 1470263 2017 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Growth assessment of (002)-oriented AlN thin films on Ti bottom electrode deposited on silicon and kapton substrates
ترجمه فارسی عنوان
ارزیابی رشدی از فیلم های نازک آلومینیوم (002) بر روی الکترود پایین تیتانیوم که بر روی سیلیکون و کاپتون
کلمات کلیدی
نیترید آلومینیوم، اسپری مگنترون، بستر انعطاف پذیر، پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی اسکن، میکروسکوپ الکترونی انتقال،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی (عمومی)
پیش نمایش مقاله
ارزیابی رشدی از فیلم های نازک آلومینیوم (002) بر روی الکترود پایین تیتانیوم که بر روی سیلیکون و کاپتون
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials & Design - Volume 119, 5 April 2017, Pages 151-158
نویسندگان
, , , , , , ,