کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5025166 | 1470585 | 2017 | 12 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of high fill-factor aspheric microlens array by digital maskless lithography
ترجمه فارسی عنوان
تولید ماتریس های میکرولنس آسفری با پرکننده بالا با لیتوگرافی دیجیتال بی نظیر
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
چکیده انگلیسی
A simple and effective method for fabricating high fill-factor aspheric microlens array using digital maskless lithography is reported. The method use the contour planes of the designed profile as binary image, which replace physical mask by DMD display. On the lithography system, the dose accumulated over multiple exposures and the exposure dose reconstructed in wafer, then the designed profile developed. Aspheric microlens arrays with hexagonal base and square base were produced by the method, and they were gapless at each microlens periphery, so the microlens array with fill-factor of 100%.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 142, August 2017, Pages 243-248
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 142, August 2017, Pages 243-248
نویسندگان
Kejun Zhong, Hailin Zhang, Yiqing Gao,