دانلود رایگان مقاله ISI : رشد الکتریکی اولیه و پایدار با اتمسفر لایه اتمی که در محل انکسار مورد بررسی قرار گرفته است

Initial and steady-state Ru growth by atomic layer deposition studied by in situ Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 419, 15 October 2017, Pages 107-113

Konstantin V. Egorov, Yury Yu. Lebedinskii, Anatoly A. Soloviev, Anastasia A. Chouprik, Alexander Yu. Azarov, Andrey M. Markeev,