کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5347404 1503547 2017 22 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Atomic-scale characterization of plasma-induced damage in plasma-enhanced atomic layer deposition
ترجمه فارسی عنوان
تعیین میزان خسارت ناشی از پلاسما در میزان رسوب لایه اتمی افزایش پلاسما
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
تعیین میزان خسارت ناشی از پلاسما در میزان رسوب لایه اتمی افزایش پلاسما
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 425, 15 December 2017, Pages 781-787
نویسندگان
, , , ,