کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5347724 1388052 2017 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Traceable Mueller polarimetry and scatterometry for shape reconstruction of grating structures
ترجمه فارسی عنوان
پلیریمتری قابل سنجش مولر و پراکندگی سنجی برای بازسازی شکل ساختارهای گرادیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
پلیریمتری قابل سنجش مولر و پراکندگی سنجی برای بازسازی شکل ساختارهای گرادیان
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 421, Part B, 1 November 2017, Pages 471-479
نویسندگان
, , , ,