کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5347752 1388052 2017 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Experimental validation of the partial coherence model in spectroscopic ellipsometry and Mueller matrix polarimetry
ترجمه فارسی عنوان
اعتبار تجربی مدل همبستگی جزئی در بیضه سنجی اسپکتروسکوپی و پلاریسیمتری ماتریس مولر
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
در این سهم، روشی تحلیلی به تازگی پیشرفته برای رفع انسجام جزئی در اندازه گیری های قطبی سنج اسپکتروسکوپی به صورت تجربی مورد تایید قرار گرفته است. این رویکرد بر اساس نمایه اساسی فرایند اندازه گیری به عنوان کانولوشن پاسخ قطبی سنج نمونه و عملکرد ابزار سیستم اندازه گیری است. در آزمایش های انجام شده، پاسخ های نوری از دو لایه شفاف ضخیم با استفاده از قطبش ماتریس مکلر اسپکتروسکوپی در زوایای مختلف بروز بیش از دو دامنه طیفی (قابل مشاهده و مادون قرمز) به دست آمد. لایه ها به عنوان ایزوتروپیک در نظر گرفته می شوند و از دست دادن انسجام فرض شده است که از وضوح طیفی محدود از ابزار استفاده می شود. به موازات تقریب تحلیلی، رویکرد استاندارد عددی که در نرم افزار تجاری اجرا شده بود نیز برای تولید واکنش های قطبی سنج استفاده شد. توافق عالی بین تقریب تحلیلی، نرم افزار تجاری 1 و اندازه گیری های قطبی سنجی یافت شد. اعتبار سنجی تجربی تقریبی تحلیلی، جایگزین صرفه جویی در زمان برای روش های عددی استفاده شده در نرم افزار تجاری است و از لحاظ بالقوه برای نظارت بر فرآیند زمان واقعی با استفاده از بیسپسومتری طیف سنجی یا قطبی سنجی، مورد توجه بالقوه است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
اعتبار تجربی مدل همبستگی جزئی در بیضه سنجی اسپکتروسکوپی و پلاریسیمتری ماتریس مولر
چکیده انگلیسی
In this contribution, a recently advanced analytical approach for addressing partial coherence in spectroscopic polarimetric measurements is experimentally validated. The approach is based on the fundamental representation of the measurement process as the convolution of the polarimetric response of the sample and the instrumental function of the measurement system. Experimentally, the optical responses of two optically thick transparent layers were acquired by using spectroscopic Mueller matrix polarimetry at various angles of incidence over two spectral ranges (visible and infrared). The layers are considered isotropic and the loss of coherence is assumed to originate from the finite spectral resolution of the instrument. In parallel with the analytical approximation, the standard numerical approach implemented in commercial software was likewise used to reproduce the polarimetric responses. Excellent agreement between the analytical approximation, the commercial software one and the polarimetric measurements was found. The experimental validation of the analytical approximation represents a time-saving alternative to the numerical approaches used in commercial software and is of potential interest to real-time process monitoring by using spectroscopic ellipsometry or polarimetry.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 421, Part B, 1 November 2017, Pages 656-662
نویسندگان
, , , , , ,