Optimizing HiPIMS pressure for deposition of high-k (k = 18.3) amorphous HfO2

کد مقاله	کد نشریه	سال انتشار	مقاله انگلیسی	نسخه تمام متن
5348068	1503602	2016	6 صفحه PDF	دانلود رایگان

عنوان انگلیسی مقاله ISI

رایگان برای ایرانیان

موضوعات مرتبط

مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی

پیش نمایش صفحه اول مقاله

ناشر

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 365, 1 March 2016, Pages 336–341