کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5348182 | 1503603 | 2016 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of microlens array on silicon surface using electrochemical wet stamping technique
ترجمه فارسی عنوان
ساخت میکرولنز روی سطح سیلیکون با استفاده از تکنیک مهر و موم شده توسط الکتروشیمیایی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
میکرولنز آرایه، مهر و موم الکتروشیمیایی مرطوب آگارز تمبر، انحلال آنودیک، سیلیکون،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
The fabrication of microlens array (MLA) on silicon surface is focused in this paper by taking advantage of a novel micromachining approach, the electrochemical wet stamping (E-WETS). The E-WETS allows the direct imprinting of MLA on an agarose stamp into substrate through a selective anodic dissolution process. The pre-patterned agarose stamp can direct and supply the solution preferentially on the contact area between the agarose stamp and the substrate, to which the electrochemical reaction is confined. The anodic potential vs. saturated calomel electrode is optimized and 1.5Â V is chosen as the optimum value for the electrochemical polishing of p-Si. A refractive MLA on an PMMA mold is successfully transferred onto p-Si surface. 151
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 364, 28 February 2016, Pages 442-445
Journal: Applied Surface Science - Volume 364, 28 February 2016, Pages 442-445
نویسندگان
Lei-Jie Lai, Hang Zhou, Li-Min Zhu,