کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5348264 1503576 2017 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of 3D microlens transfer into fused silica substrate by CF4/O2 dry etching
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Effects of 3D microlens transfer into fused silica substrate by CF4/O2 dry etching
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 393, 30 January 2017, Pages 287-293
نویسندگان
, , , , , , , , ,