کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5349022 | 1503640 | 2015 | 13 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Temporal evolution of the chemical structure during the pattern transfer by ion-beam sputtering
ترجمه فارسی عنوان
تکامل زمانی ساختار شیمیایی در طول انتقال المان توسط پرتو ایون پرتو
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
Ru films patterned by ion-beam sputtering (IBS) serve as sacrificial masks for the transfer of the patterns to Si(1Â 0Â 0) and metallic glass substrates by continued IBS. Under the same sputter condition, however, both bare substrates remain featureless. Chemical analyses of the individual nano structures simultaneously with the investigation of their morphological evolution reveal that the pattern transfer, despite its apparent success, suffers from premature degradation before the mask is fully removed by IBS. Moreover, the residue of the mask or Ru atoms stubbornly remains near the surface, resulting in unintended doping or alloying of both patterned substrates.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 324, 1 January 2015, Pages 240-244
Journal: Applied Surface Science - Volume 324, 1 January 2015, Pages 240-244
نویسندگان
N.-B. Ha, S. Jeong, S. Yu, H.-I. Ihm, J.-S. Kim,