کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5349879 | 1503652 | 2014 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Superconducting MoC thin films with enhanced sheet resistance
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this paper we describe a process of MoC superconducting thin films preparation by reactive magnetron sputtering in argon-acetylene atmosphere. The deposition process was optimized to achieve very smooth superconducting thin films with high sheet resistance. We present the results of four-point resistance measurements in cryostat cooled down to 300Â mK. The roughness was measured by the atomic force microscope (AFM). The results are so far promising and enable us to pattern superconducting coplanar waveguide resonator with embedded nanostructures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 312, 1 September 2014, Pages 216-219
Journal: Applied Surface Science - Volume 312, 1 September 2014, Pages 216-219
نویسندگان
M. Trgala, M. ŽemliÄka, P. Neilinger, M. Rehák, M. Leporis, Å . Gaži, J. GreguÅ¡, T. Plecenik, T. Roch, E. DobroÄka, M. Grajcar,