کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5352321 1388149 2013 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Patterning of hafnia and titania via gas-phase soft lithography combined with atomic layer deposition
ترجمه فارسی عنوان
طراحی هفنیا و تیتانا با استفاده از لیتوگرافی الکترونی گازی همراه با رسوب لایه اتمی
کلمات کلیدی
لیتوگرافی نرم. رسوب لایه اتمی، اکسید معدنی، چگالش،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
طراحی هفنیا و تیتانا با استفاده از لیتوگرافی الکترونی گازی همراه با رسوب لایه اتمی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 285, Part B, 15 November 2013, Pages 220-225
نویسندگان
, ,