کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5352321 | 1388149 | 2013 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Patterning of hafnia and titania via gas-phase soft lithography combined with atomic layer deposition
ترجمه فارسی عنوان
طراحی هفنیا و تیتانا با استفاده از لیتوگرافی الکترونی گازی همراه با رسوب لایه اتمی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
لیتوگرافی نرم. رسوب لایه اتمی، اکسید معدنی، چگالش،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 285, Part B, 15 November 2013, Pages 220-225
Journal: Applied Surface Science - Volume 285, Part B, 15 November 2013, Pages 220-225
نویسندگان
Shannon M. Notley, Andrew Fogden,