کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5352535 | 1503593 | 2016 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigation of laser-fired point contacts on KOH structured laser-crystallized silicon by conductive atomic force microscopy
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A conductive atomic force microscope is used to study the local topography and conductivity of laser-fired aluminum contacts on KOH-structured multicrystalline silicon surfaces. A significant increase in conductivity is observed in the laser-affected area. The area size and spatial uniformity of this enhanced conductivity depends on the laser energy fluence. The laser-affected area shows three ring-shaped regimes of different conductance depending on the local aluminum and oxygen concentration. Finally, it was found that the topographic surface structure determined by the silicon grain orientation does not significantly affect the laser-firing process.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 374, 30 June 2016, Pages 243-247
Journal: Applied Surface Science - Volume 374, 30 June 2016, Pages 243-247
نویسندگان
Orman Gref, Moshe Weizman, Holger Rhein, Onno Gabriel, Ulrich Gernert, Rutger Schlatmann, Christian Boit, Felice Friedrich,