کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5353404 | 1503672 | 2014 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The electrical and morphological properties of magnesium oxide/alumina bilayered thin films prepared by electron beam evaporation at oblique incidence
ترجمه فارسی عنوان
خواص الکتریکی و مورفولوژیکی اکسید منیزیم / آلومینا دو لایه فیلم های نازک تهیه شده توسط تبخیر الکترون پرتو در برش مورب
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
The electrical and morphological properties of magnesium oxide (MgO)/alumina (Al2O3) bilayered thin films prepared by electron beam evaporation at oblique incidence are reported. The MgO thin films are deposited when the incline angle is 55° on various Al2O3 thin films incline angles. A columnar grain with a roofing-tile-shaped surface is observed in these MgO/Al2O3 thin films. X-ray pole figures and θ-2θ scan, Ï-scan are used to characterize in-plane and out-of-plane textures. The relationships between Ï-FWHM, capacitor, leakage current, and the inclined angles are studied. The morphology is investigated by using scanning electron microscope (SEM). So the oblique angle deposition method is an effective way to control the microstructure of thin films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 292, 15 February 2014, Pages 665-669
Journal: Applied Surface Science - Volume 292, 15 February 2014, Pages 665-669
نویسندگان
Li-jun He, Chuan Li, Xing-zhao Liu,