کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5353486 | 1503606 | 2016 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optimization of energy and fluence of N2+ ions in the conversion of Al2O3 surface into AlN at room temperature
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We present a systematic study of energetic N2+ ions (0.1-5Â keV) interaction with clean c-plane Al2O3 surface in situ in a UHV system equipped with X-ray Photoelectron Spectroscopy at room temperature. Results show that maximum thickness of surface is nitride by 5Â keV N2+ ion with an optimal fluence of 1.5Â ÃÂ 1015Â ions/cm2. This modified surface can be used as a template for low defect III-nitrides growth, with enhanced lattice matching than on bare c-Al2O3.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 361, 15 January 2016, Pages 265-268
Journal: Applied Surface Science - Volume 361, 15 January 2016, Pages 265-268
نویسندگان
Praveen Kumar, Pooja Devi, Mahesh Kumar, S.M. Shivaprasad,