کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354371 1503610 2015 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Applicability of random sequential adsorption algorithm for simulation of surface plasma polishing kinetics
ترجمه فارسی عنوان
کاربرد الگوریتم جذب تصادفی متوالی برای شبیه سازی سینتیک پلینگ پلاسما سطح
کلمات کلیدی
جذب متوالی تصادفی، پرداخت پلاسما، سینتیک جذب، احتمال
ترجمه چکیده
ما معتقدیم که شبیه سازی دینامیک مولکولی فرآیند پرداخت، احتمالا سایر انواع درمان سطح، می تواند بر اساس این مدل باشد. با این وجود، تاثیر پارامترهای مواد و شرایط پردازش (از جمله خصوصیات پلاسما) باید با استفاده از متغیرهای مدل مناسب مورد توجه قرار گیرد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
کاربرد الگوریتم جذب تصادفی متوالی برای شبیه سازی سینتیک پلینگ پلاسما سطح
چکیده انگلیسی
We believe that molecular dynamics simulation of the polishing process, possibly also other types of surface treatment, can be based on this model. However influence of material parameters and processing conditions (including plasma characteristics) must be taken into account using appropriate model variables.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 355, 15 November 2015, Pages 364-368
نویسندگان
, ,