کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354431 1503690 2013 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low temperature wet etching to reveal sub-surface damage in sapphire substrates
ترجمه فارسی عنوان
رطوبت مرطوب با درجه حرارت پایین به منظور نشان دادن آسیب سطحی سطح در زیر خاکی یاقوت کبود
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
► Low temperature wet etching was studied to reveal sub-surface damage in sapphire. ► Etching in H2SO4 at temperatures ≥125 °C and 3:1 H2SO4-H3PO4 at temperatures ≥75 °C was found to reveal sub-surface damage as scratches. ► This technique can be used to observe very low density of sub-surface damage. ► The depth of surface and sub-surface damaged layer was 1.6 and 2.2 μm respectively for wafers lapped with 1 μm diamond particles.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 273, 15 May 2013, Pages 58-61
نویسندگان
, , , , , ,