کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5354431 | 1503690 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low temperature wet etching to reveal sub-surface damage in sapphire substrates
ترجمه فارسی عنوان
رطوبت مرطوب با درجه حرارت پایین به منظور نشان دادن آسیب سطحی سطح در زیر خاکی یاقوت کبود
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
سفال آسیب تحت سطح، اچ مرطوب
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
⺠Low temperature wet etching was studied to reveal sub-surface damage in sapphire. ⺠Etching in H2SO4 at temperatures â¥125 °C and 3:1 H2SO4-H3PO4 at temperatures â¥75 °C was found to reveal sub-surface damage as scratches. ⺠This technique can be used to observe very low density of sub-surface damage. ⺠The depth of surface and sub-surface damaged layer was 1.6 and 2.2 μm respectively for wafers lapped with 1 μm diamond particles.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 273, 15 May 2013, Pages 58-61
Journal: Applied Surface Science - Volume 273, 15 May 2013, Pages 58-61
نویسندگان
Purushottam Kumar, Jinhyung Lee, Gwangwon Lee, Suhas Rao, Deepika Singh, Rajiv K. Singh,