کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5354479 | 1503690 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Capacitive humidity-sensing properties of Zn2SiO4 film grown on silicon nanoporous pillar array
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠A Zn2SiO4 film was grown on silicon nanoporous pillar array (Si-NPA) for humidity detection. ⺠Zn2SiO4/Si-NPA humidity sensor showed high sensitivity, quick response and slight hysteresis. ⺠Zn2SiO4/Si-NPA might be a promising material for fabricating practical humidity sensors.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 273, 15 May 2013, Pages 372-376
Journal: Applied Surface Science - Volume 273, 15 May 2013, Pages 372-376
نویسندگان
Wen Chuang Wang, Yong Tao Tian, Kun Li, Er Yang Lu, Dong Shang Gong, Xin Jian Li,