کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354479 1503690 2013 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Capacitive humidity-sensing properties of Zn2SiO4 film grown on silicon nanoporous pillar array
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Capacitive humidity-sensing properties of Zn2SiO4 film grown on silicon nanoporous pillar array
چکیده انگلیسی
► A Zn2SiO4 film was grown on silicon nanoporous pillar array (Si-NPA) for humidity detection. ► Zn2SiO4/Si-NPA humidity sensor showed high sensitivity, quick response and slight hysteresis. ► Zn2SiO4/Si-NPA might be a promising material for fabricating practical humidity sensors.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 273, 15 May 2013, Pages 372-376
نویسندگان
, , , , , ,