کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5355610 | 1503599 | 2016 | 25 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of two-dimensional periodic structures on silicon after scanning irradiation with femtosecond laser multi-beams
ترجمه فارسی عنوان
ساخت ساختارهای دوبعدی دوره ای بر روی سیلیکن پس از تابش اشعه با پرتوهای چند لایه فموتسکند
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
لیزر فموستیک سیلیکون، ساختارهای دوره ای، سازه های ترکیبی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
- Combined 2D periodic structures were fabricated in water and air by scanning femtosecond laser multi-beams over the silicon surface, with the assistance of a microlens array (MLA). The method was a one-step method and the structures could be controlled by the processing parameters.
- The 2D periodic structures include grooves with period of several microns and laser-induced ripples with period of several hundred nanometers.
- Large-area grid-like structures with ripples were fabricated and the antireflection properties of the structured surface were tested.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 368, 15 April 2016, Pages 443-448
Journal: Applied Surface Science - Volume 368, 15 April 2016, Pages 443-448
نویسندگان
An Pan, Jinhai Si, Tao Chen, Cunxia Li, Xun Hou,