کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5356121 | 1388201 | 2012 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Excimer lasers drive large-area microprocessing
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Multi-hundred watt UV excimer lasers are used in industrial high-volume microprocessing. ⺠Excimer laser operational lifetime of two years under typical production conditions yields affordable high power UV laser processing. ⺠Laser lift-off processing of LEDs is facilitated by the large per-shot-area of excimer lasers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 23, 15 September 2012, Pages 9123-9127
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 23, 15 September 2012, Pages 9123-9127
نویسندگان
Ralph Delmdahl, Jean-Luc Tapié,