کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5356277 | 1388202 | 2015 | 15 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optimization of silver-assisted nano-pillar etching process in silicon
ترجمه فارسی عنوان
بهینه سازی فرایند اچ کردن نانو ستون به کمک نقره در سیلیکون
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
- Statistical analysis for synthesis of nano-pillar in crystalline Si substrates is presented.
- Model is in good agreement with experimental for the etching rate and lateral etching respectively.
- Optimum values for all parameters in fabrication of nanostructured Si are attained.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 357, Part B, 1 December 2015, Pages 1863-1877
Journal: Applied Surface Science - Volume 357, Part B, 1 December 2015, Pages 1863-1877
نویسندگان
Ayu Wazira Azhari, Kamaruzzaman Sopian, Mohd Khairunaz Mat Desa, Saleem H. Zaidi,