کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5356655 | 1503654 | 2014 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Simulation of ion beam sputtering with SDTrimSP, TRIDYN and SRIM
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this contribution we discuss the possibilities, the key benefits and the limitations of three popular binary collision Monte Carlo simulation programs (SDTrimSP, TRIDYN and SRIM). The focus will be set to the calculation of angle dependent sputter yields, angular distribution of sputtered particles, sputter yields for compound materials, sputter yield amplification effects, as well as the extraction of parameters relevant for modeling ion-induced surface pattern formation from vacancy and recoil atom distributions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 310, 15 August 2014, Pages 134-141
Journal: Applied Surface Science - Volume 310, 15 August 2014, Pages 134-141
نویسندگان
H. Hofsäss, K. Zhang, A. Mutzke,