کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5357313 | 1388215 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Activation energy of water vapor and oxygen transmission through TiNxOy/PET gas barrier films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Titanium oxynitride (TiNxOy) films were deposited on polyethylene terephthalate (PET) substrates by means of a reactive radio frequency (RF) magnetron sputtering system in which the power density was the varied parameter. Experimental results show that the deposited TiNxOy films with a thickness of about 55Â nm have similar contents of TiN, TiNxOy and TiO2 bonds, although they are deposited at different power densities. The TiNxOy films deposited at a lower power density have fewer internal defects and grain boundaries and possess higher activation energy and a lower rate of water vapor and oxygen transmission through TiNxOy/PET films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 256, Issue 23, 15 September 2010, Pages 7242-7245
Journal: Applied Surface Science - Volume 256, Issue 23, 15 September 2010, Pages 7242-7245
نویسندگان
M.C. Lin, M.-J. Chen, L.-S. Chang,