کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5357396 | 1388218 | 2012 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Chemical and microstructural characterization of rf-sputtered BaTiO3 nano-capacitors with Ni electrodes
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠Sputter deposited BaTiO3 nano-capacitors â¼100 nm thick were characterized. ⺠AFM and SEM confirmed the films to be smooth and conformal with no macro-defects such as pores or cracks. ⺠TEM and XRD indicate the films were either amorphous or nanocrystalline. ⺠XPS showed the films had excess oxygen and Ba:Ti ratios ranging from 0.78 to 1.1. ⺠No correlation between the chemical/microstructural features and dielectric properties (permittivity up to â¼1000 and losses below 0.1).
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 15, 15 May 2012, Pages 5599-5604
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 15, 15 May 2012, Pages 5599-5604
نویسندگان
James N. Reck, Rebecca Cortez, S. Xie, Ming Zhang, Matthew O'Keefe, Fatih Dogan,