کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5357541 1503608 2015 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Formation of Mach angle profiles during wet etching of silica and silicon nitride materials
ترجمه فارسی عنوان
تشکیل پروفیل های زاویه ماخ در خلال رطوبت مرطوب مواد سیلیکا و نیترید سیلیکون
کلمات کلیدی
مجتمع مواد اپتیک، پردازش مواد اچینگ، شیشه سیلیکا، نیترید سیلیکون، اسید هیدروفلوریک بوفور،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
تشکیل پروفیل های زاویه ماخ در خلال رطوبت مرطوب مواد سیلیکا و نیترید سیلیکون
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 359, 30 December 2015, Pages 679-686
نویسندگان
, , , ,