کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5357548 1503608 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Wetting process of copper filling in through silicon vias
ترجمه فارسی عنوان
فرایند مرطوب پر کردن مس از طریق ویسی سیلیکون
کلمات کلیدی
پیش تصفیه خلاء، فرایند خیس شدن پر کردن مس، از طریق سیلیکون ویس،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
فرایند مرطوب پر کردن مس از طریق ویسی سیلیکون
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 359, 30 December 2015, Pages 736-741
نویسندگان
, , , , ,