کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5357621 | 1503637 | 2015 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Laser ablation of titanium nitride coated on silicon wafer substrate for depth profiling using ICP-MS
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
- Depth profiling of TiN coated on Si substrate using laser ablation-ICP-MS.
- Characterization of particles and craters for structure and thermal property.
- TiN with a columnar structure showed clear craters with less thermal degradation.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 327, 1 February 2015, Pages 483-489
Journal: Applied Surface Science - Volume 327, 1 February 2015, Pages 483-489
نویسندگان
Jin Sook Lee, H.B. Lim,