Plasma effects in aligned carbon nanoflake growth by plasma-enhanced hot filament chemical vapor deposition

نانوفیلم های کربنی به صورت مستقر در بستر سیلیکون به وسیله پلاسما تحت فشار قرار می گیرند که در آن حرارت متان را تحت تاثیر قرار می دهند. نشان داده شده است که نانوفیلم ها از نانولوله های کربنی تطبیقی ​​تشکیل شده اند که با بررسی گسترده ای از نتایج آزمایشگاهی میکروسکوپ الکترونی، میکروسکوپ الکترونی و میکروسکوپ الکترونی انتقال انجام شده است. در مقایسه با فیلم های گرافن مانند بدون پلاسما، نانولوله های کربنی در یک حالت هموار رشد می کنند و سرعت رشد فیلم ها افزایش می یابد. اثرات پلاسما بر رشد نانوفیلم های کربن مورد مطالعه قرار گرفته است. پلاسما سه اثر اصلی (1) ترویج جداسازی نانولوله های کربنی از بستر سیلیکون، (2) تسریع حرکت رادیکال های هیدروکربن، و (3) افزایش رسوب یون های هیدروکربنی بر روی سطح بستگی دارد. با توجه به این اثرات خاص پلاسما، نانوفیلم های کربنی می توانند از نانولوله های کربنی تراز با سرعت بالا تشکیل شوند. این نتایج دانش ما را در مورد سنتز، خواص و کاربردهای مواد بر پایه گرافن پیش می برد.