کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5358303 | 1503617 | 2015 | 11 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Surface morphology and grain analysis of successively industrially grown amorphous hydrogenated carbon films (a-C:H) on silicon
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
- Two different a-C:H coatings in various thicknesses on Si (1Â 0Â 0) have been studied.
- For both types no significant difference in surface morphology is detectable.
- The grain number with respect to their height appears randomly distributed.
- In average no grain higher than 14 nm and larger than 0.05 μm2 was observed.
- A height to area correlation confines all detected grains to a limited region.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 347, 30 August 2015, Pages 657-667
Journal: Applied Surface Science - Volume 347, 30 August 2015, Pages 657-667
نویسندگان
Alberto Catena, Thomas McJunkin, Simonpietro Agnello, Franco M. Gelardi, Stefan Wehner, Christian B. Fischer,